半導(dǎo)體石墨模具的材料要求有哪些？

半導(dǎo)體行業(yè)對石墨材料的要求特別高，細顆粒的石墨具有精度高、耐高溫、強度高、損耗低等優(yōu)點，如:燒結(jié)用石墨模具。由于半導(dǎo)體工業(yè)中使用的石墨設(shè)備(包括加熱器及其燒結(jié)模具)需要承受反復(fù)的加熱和冷卻過程，為了延長石墨設(shè)備的使用壽命，通常要求使用的石墨材料應(yīng)具有穩(wěn)定的性能和抗熱震性。為了滿足上述要求，中國現(xiàn)已開發(fā)出一系列適用于半導(dǎo)體行業(yè)的石墨材料。

一、電子設(shè)備的燒結(jié)

石墨模具可用于各種型號可控硅管、三極管、二極管等的管芯燒結(jié)。如果用高頻爐熔煉法生產(chǎn)單晶，也要用石墨舟。

二、絕緣子燒結(jié)模具

石墨模具適用于燒結(jié)電容器絕緣體；燒結(jié)厚膜集成電路絕緣體；各類三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié)；超小型繼電器、連接器等元件的絕緣體燒結(jié)模具等。