晶圓封裝石墨模具的抗磨耗性

晶圓封裝石墨模具因?yàn)槠浣Y(jié)構(gòu)復(fù)雜決定了加工難度大，故造價相對較高，所以前進(jìn)晶圓封裝石墨模具的壽數(shù)便是一個主要課題，特別鏡面和蝕紋面，就特別簡單磨損，這一直是一件令人十分苦惱的工作。經(jīng)過真空涂層的塑料晶圓封裝石墨模具表面硬度的前進(jìn)，使得抗磨耗性明顯前進(jìn)；

并且因晶圓封裝石墨模具表面光潔度的增強(qiáng)和摩擦系數(shù)的下降使得膠料的活動性更好以及塑料產(chǎn)品更易脫模。同時真空涂層更因其特別的晶格結(jié)構(gòu)在晶圓封裝石墨模具表面形成細(xì)密的保護(hù)層，能夠十分有用的處理腐蝕的壞處。更為重要的是，因?yàn)樵蹅兊耐繉油耆粫膭泳A封裝石墨模具的表面情況，無論是鏡面仍是蝕紋面，乃至要求極高的CD晶圓封裝石墨模具加工定制

晶圓封裝石墨模具石墨模具：

1、反響晶圓封裝石墨模具是指在晶圓封裝石墨模具傳質(zhì)過程中,除運(yùn)用表面自由能下降和機(jī)械作用力推進(jìn)外，再加上一種化學(xué)反響能作為推進(jìn)力或教活能，

2、以下降晶圓封裝石墨模具溫度,亦即下降了晶圓封裝石墨模具難度以獲得細(xì)密陶瓷。從化學(xué)反響的視點(diǎn)看，可分為相變晶圓封裝石墨模具、分解晶圓封裝石墨模具以及分解組成晶圓封裝石墨模具三種類型。

3、從能量及結(jié)構(gòu)改動的過程看，在多晶改動或煅燒分解過程中，一般都有明顯的熱效應(yīng),質(zhì)點(diǎn)都處于一種高能、介穩(wěn)和接納調(diào)整的超可塑情況。

4、促進(jìn)質(zhì)點(diǎn)發(fā)生躍遷所需的激活能，與其他情況相比要低得多，運(yùn)用這一特征，當(dāng)晶圓封裝石墨模具進(jìn)行到這一時期,施加滿意的機(jī)械應(yīng)力，

5、以誘導(dǎo)、觸發(fā)、促進(jìn)其改動，質(zhì)點(diǎn)便或許順暢地從一種高能介穩(wěn)情況，改動到另一種低能安穩(wěn)情況，可下降工藝難度、完結(jié)陶瓷的細(xì)密晶圓封裝石墨模具。

6、其特征是熱能、機(jī)械能、化學(xué)能三者缺一不可，緊密配合促進(jìn)改動完結(jié)。