陶瓷封裝石墨模具過程所用的石墨模具材料

陶瓷封裝石墨模具過程所用的石墨模具材料，主要為超細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)、高純度和高石墨化度的石墨材料，要求其平均粒徑小于15μm，甚至10μm以下，中等氣孔尺寸小于2μm。用此炭素原料做成的石墨模，氣孔率小、結(jié)構(gòu)致密、表面光潔度高、抗氧化性較強等優(yōu)點，平均使用壽命可達30～40次。

利用人造石墨材料熱變形極小的特點，可制造晶體管的陶瓷封裝石墨模具石墨模具和支架，現(xiàn)已廣泛使用，它已成為發(fā)展半導(dǎo)體工業(yè)不可缺少的材料。

陶瓷封裝石墨模具 涂層石墨基座具有耐高溫、抗氧化、耐沖刷、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性，物理化學(xué)性能穩(wěn)定。

與高純度石墨相比較，高純石墨在400℃時開始發(fā)生強烈氧化，即使溫度不高，長期應(yīng)用也會因氧化而掉粉末，會依附工件和臺面或污染使用環(huán)境，因此陶瓷封裝石墨模具涂層石墨基座作為一種新耗材，陶瓷封裝石墨模具設(shè)備、粉末燒結(jié)、發(fā)熱元件等工序上逐漸代替高純石墨。

石墨模具具有優(yōu)秀的導(dǎo)熱及導(dǎo)電性能，線收縮系數(shù)低等很好的熱穩(wěn)定性能及抗加熱沖擊性，具有良好的光滑和抗磨性，易于加工，機械加工性能好，能夠制造成外形復(fù)雜、精度高的模具，耐化學(xué)腐蝕與多數(shù)金屬不易發(fā)作反響。